技術編號：12165619
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型屬于靶材制造技術領域，特別涉及一種釬焊靶材的焊層結構。背景技術對于W及W合金、Mo及Mo合金、Cr及Cr合金、Ru及Ru合金、Al2O3、MgO等氧化物靶材，由于線膨脹系數(shù)與背板材質(zhì)差異大，通常采用釬焊方式與背板焊接復合。釬焊焊料為In及In合金，Sn及Sn合金。背板材質(zhì)通常為Cu及Cu合金、Al及Al合金、不銹鋼、Ti、Mo及Mo合金等。通常，靶材與背板焊接面為平面(如圖1a所示)，兩者中間為焊料層，由于焊接面積大，如12寸靶材焊接面直徑達到450mm，且焊料層厚度較薄，如0.1-1...
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