技術(shù)編號：12166567
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及能夠使用諸如白光等多波長光測量測量對象的諸如厚度、距離、位移或顏色等特征量的諸如共焦位移計、干涉位移計和顏色光學(xué)傳感器等多波長光電測量裝置。背景技術(shù)光電測量裝置從發(fā)光單元發(fā)射可見光或紅外光，并且由光接收單元檢測已經(jīng)被測量對象的表面反射的反射光或者已經(jīng)透過測量對象的透射光。測量單元根據(jù)光接收單元中的每個波長的光強度分布來測量測量對象的諸如厚度、距離、位移或顏色等特征量(參見例如專利文獻1至4)。在現(xiàn)有多波長光電測量裝置中，諸如鹵素?zé)艋螂療舻劝咨庠础咨獿ED或超輻射發(fā)光二極管(SLD)...
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