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差壓測(cè)量單元的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12185206

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本發(fā)明涉及一種差壓測(cè)量單元,特別是一種具有對(duì)于靜態(tài)過載保護(hù)的差壓測(cè)量單元。背景技術(shù)差壓測(cè)量單元通常被優(yōu)化用于測(cè)量在高靜態(tài)壓力p1、p2下的小壓力差p1-p2。這樣做時(shí),重要的是找到在靈敏度和過載電阻之間的正確平衡。例如,對(duì)于壓力差|p1-p2|的測(cè)量范圍,|p1-p2|/p1<1%可能適用。如果省略了在過程單元中的壓力p1、p2中的一個(gè),則差壓傳感器承載100倍的測(cè)量范圍。能夠耐受這種過載的差壓感測(cè)元件是已知的。敏感差壓測(cè)量單元的經(jīng)證明的保護(hù)基于將過載膜與差壓傳感器液壓地并聯(lián)連接并且經(jīng)由液...
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