技術(shù)編號：12188780
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及機械設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種保護(hù)設(shè)備和動力裝置。背景技術(shù)在現(xiàn)在采用的改良西門子法工藝生產(chǎn)多晶硅時，會有三氯氫硅和四氯化硅這兩種有毒有害液體的循環(huán)利用，為了防止泄露，通常使用屏蔽泵或者磁力泵來保障使用安全。而為了防止因顆粒狀異物進(jìn)入泵體導(dǎo)致泵體異常損壞，泵體前通常會設(shè)有過濾器。盡管雜質(zhì)不會進(jìn)入泵體，但這些微粉和固體雜質(zhì)卻會堵塞過濾器，進(jìn)而使得屏蔽泵內(nèi)缺少液體，導(dǎo)致液體汽化并腐蝕泵體，需要系統(tǒng)停車，并對屏蔽泵進(jìn)行檢修，而屏蔽泵的檢修周期長，且檢修費用高，嚴(yán)重時甚至?xí)斐赏．a(chǎn)，所以防止屏蔽...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。