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一種利用數(shù)控雕刻技術(shù)制作玻璃微流控芯片的方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12215511

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本發(fā)明涉及一種利用數(shù)控雕刻技術(shù)制作玻璃微流控芯片的方法,可應(yīng)用于芯片實(shí)驗(yàn)室。背景技術(shù)近年來,微流控芯片作為一種新的技術(shù)平臺,在生物和化學(xué)領(lǐng)域受到廣泛關(guān)注,是當(dāng)前發(fā)展最活躍的領(lǐng)域之一。目前制作微流控芯片的基質(zhì)材料主要有硅、玻璃和聚合物三大類。其中玻璃材質(zhì)芯片具有良好的力學(xué)、光學(xué)、傳熱和電絕緣性能以及生物相容性,同時能夠耐受高溫、高壓和各種有機(jī)溶劑等苛刻的生化反應(yīng)條件,因此在微流控技術(shù)的應(yīng)用研究中具有獨(dú)特的優(yōu)勢。但是傳統(tǒng)的基于玻璃材質(zhì)的微流控芯片制作工藝,通常是采用微電子加工工藝結(jié)合濕法腐蝕來實(shí)現(xiàn),...
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