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一種藍(lán)寶石襯底片研磨后的清洗工藝的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12217531

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本發(fā)明涉及一種藍(lán)寶石襯底片研磨后的清洗工藝,屬于藍(lán)寶石襯底研磨后的清洗加工技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)藍(lán)寶石(Sapphire)晶體具有優(yōu)良的光學(xué)性能、物理性能和穩(wěn)定的化學(xué)性能,廣泛應(yīng)用于高亮度LED襯底材料。藍(lán)寶石襯底片為了獲得優(yōu)良的平坦度,需要以碳化硼為主要研磨材料對(duì)藍(lán)寶石襯底片進(jìn)行雙面研磨加工,研磨后的藍(lán)寶石襯底片表面殘留有碳化硼微粉,在高溫退火前需要進(jìn)行清洗。由于碳化硼穩(wěn)定的化學(xué)性能,研磨后的清洗非常困難,碳化硼微粉殘留在藍(lán)寶石襯底片表面,高溫退火后在藍(lán)寶石襯底片表面形成油亮斑,導(dǎo)致藍(lán)寶石襯底片需...
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