技術編號：12225045
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型屬于晶體加工裝置領域，涉及一種晶體偏角度加工的定向夾具，具體地，特別涉及一種碳化硅晶體偏角度加工的定向夾具。背景技術碳化硅單晶具有高導熱率、高擊穿電壓和化學穩(wěn)定性高等半導體物理性質，可以制作成在高溫、強輻射條件下工作的高頻、高功率電子器件和光電子器件，是極具發(fā)展前景的第三代寬禁帶半導體材料。目前，主要是使用物理氣相傳輸法(PVT法)生長出大直徑的高質量碳化硅單晶并制成外延基片，用碳化硅單晶外延片制作電子器件和光電子器件。為了制造碳化硅半導體器件，需要在碳化硅晶片表面生長一層或數層的碳化...
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