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一種制備石墨/碳化硅致密復(fù)合材料的方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12239890

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本發(fā)明涉及無(wú)機(jī)非金屬材料制備技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種制備石墨/碳化硅致密復(fù)合材料的方法。背景技術(shù)在石墨件表面沉積碳化硅,通常采用甲基三氯硅烷為前驅(qū)體,發(fā)生化學(xué)氣相沉積反應(yīng)后得到碳化硅涂層,副產(chǎn)HCl氣體。在某些特定的應(yīng)用中,要求碳化硅涂層結(jié)合致密,可以阻止石墨件的部分雜質(zhì)進(jìn)入反應(yīng)系統(tǒng);另外,還要求碳化硅涂層結(jié)合緊密,耐磨性能好。例如,制備顆粒硅的流化床反應(yīng)器通常具用石墨內(nèi)襯,且在石墨內(nèi)襯表面涂覆碳化硅涂層。純化石墨通常采用高溫除雜工序,包括較長(zhǎng)的升溫和降溫過(guò)程,不僅周期長(zhǎng),電耗還高。且純化后的石墨...
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