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一種掃描電子顯微鏡原位檢測裝置及掃描電子顯微鏡系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12268471

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本發(fā)明涉及測試儀器技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及的是一種掃描電子顯微鏡原位檢測裝置及掃描電子顯微鏡系統(tǒng)。背景技術(shù)納米材料和納米技術(shù)是近年來各國非常關(guān)注和重視的研究領(lǐng)域之一。當(dāng)物質(zhì)的尺寸縮小到納米級別時,它的物理性能,化學(xué)性能,以及其他各項(xiàng)性能會極大地差異與甚至完全不同與它在宏觀尺寸(微米毫米級別)下的所表現(xiàn)出來的各項(xiàng)特性。而納米尺度賦予各類材料的獨(dú)特性能,也吸引越來越多的科研人員和機(jī)構(gòu)從事納米材料科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)工作。以碳納米管材料為例。碳納米管是典型的一維納米材料,它具有其他很多材料無法媲美的優(yōu)異的力學(xué)...
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