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一種晶圓級(jí)測(cè)試裝置及方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12268811

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本發(fā)明涉及集成電路設(shè)計(jì)技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種晶圓級(jí)測(cè)試裝置及方法。背景技術(shù)在集成電路(IC)涉及、制造技術(shù)領(lǐng)域,存在著去偽存真的需要,篩選殘次品,防止進(jìn)入下一道工序,減少下一道工序中的冗余的制造費(fèi)用,這就需要調(diào)試和測(cè)試。隨著半導(dǎo)體業(yè)的發(fā)展,封裝測(cè)試為了節(jié)省成本及測(cè)試等費(fèi)用,傳統(tǒng)的芯片測(cè)試一般為:QFP(管腳),QFN(銀腳),BGA(球)等,在封裝時(shí)根據(jù)不同要求進(jìn)行封裝,傳統(tǒng)Socket測(cè)試芯片體積大,包裝及運(yùn)輸中都會(huì)增加成本等。對(duì)此,WLCSP(Wafer-LevelChipScalePac...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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