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測(cè)試器件的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12274969

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,特別涉及一種測(cè)試器件。背景技術(shù)從半導(dǎo)體單晶片到最終成品,半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)包括數(shù)十甚至上百道工序。為了確保所生產(chǎn)的半導(dǎo)體器件性能合格、穩(wěn)定可靠,半導(dǎo)體器件制造工藝除了包括形成半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)工序,還包括對(duì)所形成半導(dǎo)體器件進(jìn)行檢測(cè)的測(cè)試工藝。晶圓接收測(cè)試(WaferAcceptanceTest,WAT)是對(duì)特定的測(cè)試器件(Testkey)進(jìn)行電學(xué)性能測(cè)試,根據(jù)測(cè)試器件的測(cè)試結(jié)果,反映生產(chǎn)工序是否正常,以及生產(chǎn)工序的穩(wěn)定性。所述測(cè)試器件與半導(dǎo)體器件同時(shí)形成于晶圓上,因此測(cè)試器...
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