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表面發(fā)射激光器元件和原子振蕩器的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12276435

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本公開(kāi)內(nèi)容在此通常涉及表面發(fā)射激光器元件和原子振蕩器。背景技術(shù)豎直空腔表面發(fā)射激光器(VCSEL)是半導(dǎo)體激光器,其在垂直于基板表面的方向上發(fā)射光。與端面發(fā)射型半導(dǎo)體激光器相比,VCSEL具有低成本、低功耗、尺寸小、高性能以及容易二維地集成的特征。豎直空腔表面發(fā)射激光器具有一共振器結(jié)構(gòu),該共振器結(jié)構(gòu)具有包括活性層的共振器區(qū)域,以及分別設(shè)置在該共振器區(qū)域的上方和下方的上部和下部布拉格反射鏡(參見(jiàn)日本公布專利申請(qǐng)?zhí)?008-53353)。共振器區(qū)域具有預(yù)定光學(xué)厚度以使得具有λ的波長(zhǎng)的光在共振器區(qū)域中...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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