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超聲換能器芯片組件、超聲探針、超聲成像系統(tǒng)以及超聲組件和探針的制造方法發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種超聲換能器組件，其包括超聲換能器芯片和連接到所述超聲換能器芯片的柔性互連件。本發(fā)明還涉及一種包括這種超聲換能器組件的超聲探針。本發(fā)明也涉及一種包括這種超聲探針的超聲成像系統(tǒng)。本發(fā)明更涉及一種制造這種超聲換能器組件的方法。本發(fā)明另外涉及一種制造這種超聲探針的方法。背景技術(shù)包括超聲感測功能的IC芯片(例如，超聲換能器芯片)越來越多地用作超聲探針(比如，超聲導(dǎo)管)的感測末端。舉例來說，所述超聲感測功能可由在超聲...
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