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一種基于低溫?zé)徭I合的芯片原子鐘微型氣室的制備方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12298570

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本發(fā)明屬光學(xué)領(lǐng)域和微納系統(tǒng)領(lǐng)域,具體為一種基于低溫?zé)徭I合的芯片原子鐘微型氣室的制備方法。背景技術(shù)MEMS技術(shù)的進(jìn)步,帶動(dòng)了微制造行業(yè)的發(fā)展,基于CPT效應(yīng)的芯片原子鐘由于物理部分不需要微波諧振腔,可以在體積上縮小數(shù)個(gè)數(shù)量級(jí),具有體積小、功耗低、能微型化的特點(diǎn)。與常規(guī)的原子鐘相比,芯片原子鐘的突出優(yōu)點(diǎn)是可用于以電池為動(dòng)力的便攜式無線通信裝置及導(dǎo)航定位系統(tǒng),而且價(jià)格大幅降低,在軍民用普及方面有不可替代的優(yōu)勢(shì),如衛(wèi)星導(dǎo)航、高保密通信、監(jiān)視應(yīng)用和無人機(jī)等方面。而且,芯片原子鐘的高精度、低功耗可以適用于不...
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