技術(shù)編號：12356380
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于角速度測量技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種用于硅微音叉陀螺的集成測控單元。背景技術(shù)基于硅微機械加工工藝的音叉陀螺具有體積小，可批量加工的特點，在中低精度應(yīng)用中具有廣泛的市場。現(xiàn)有硅微音叉陀螺的微機構(gòu)結(jié)構(gòu)如圖1所示。質(zhì)量塊101與質(zhì)量塊102被彈性梁103，104，105，106，107，108支撐在錨點103上。質(zhì)量塊101，102可以在x，y兩個方向進行振動。定義x方向為驅(qū)動方向，y方向為檢測方向。通過在驅(qū)動梳齒電容109，104，107，108上施加驅(qū)動電壓從而產(chǎn)生靜電力。質(zhì)量塊101，102...
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