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技術(shù)編號：12370530

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：本發(fā)明涉及一種GaN外延結(jié)構(gòu)以及制備方法，特別涉及一種用于LED的GaN外延結(jié)構(gòu)以及制備方法。背景技術(shù)：二十世紀九十年代初，以GaN為代表的第三代寬帶隙半導(dǎo)體材料獲得了歷史性突破，科研人員在GaN材料上成功地制備出藍綠光和紫外光LED，使得LED照明成為可能。1971年，第一只氮化鎵LED管芯面世，1994年，氮化鎵HEMT出現(xiàn)了高電子遷移率的藍光GaN基二極管，氮化鎵半導(dǎo)體材料發(fā)展十分迅速。GaN基多量子阱發(fā)光二極管(LED)已經(jīng)進入市場并取得很大進展，但是芯片出光效率低下并且衰減的問題仍未...
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