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技術(shù)編號：12381172

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本實用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種氣體管路。背景技術(shù)在半導(dǎo)體的制造過程中，大量的制程工藝中都會涉及氣體的運用，相應(yīng)的，氣體管路在許多加工設(shè)備中也是一個必不可少的元件。例如，當(dāng)采用氣體作為反應(yīng)源時，則需配備相應(yīng)的氣體管路用于引進氣體；或者，當(dāng)在制程中產(chǎn)生有尾氣時，則需配備相應(yīng)的氣體管路用于排出尾氣。其中，不論是在氣體的引進過程或者尾氣的排出過程中，若此時氣體管路中出現(xiàn)堵塞，則都可能會擾亂工藝腔體中的氣體環(huán)境，進而影響工藝參數(shù)的穩(wěn)定性。尤其的，針對易產(chǎn)生凝結(jié)的氣體而言，由于所述氣體易于氣體管...
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