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一種MEMS傳感器低應(yīng)力封裝管殼及封裝系統(tǒng)的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12389467

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本發(fā)明屬于微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域,具體涉及一種MEMS傳感器低應(yīng)力封裝系統(tǒng)。背景技術(shù)電子封裝是將一個(gè)或多個(gè)電子元器件芯片相互電連接,然后封裝在一個(gè)保護(hù)結(jié)構(gòu)中,其目的是為電子芯片提供電連接、機(jī)械保護(hù)、化學(xué)腐蝕保護(hù)等。對(duì)于某些電子產(chǎn)品,例如MEMS器件中的陀螺儀、加速度計(jì)、震蕩器或體聲波濾波器等都對(duì)應(yīng)力非常敏感,需要用陶瓷管殼、金屬管殼或預(yù)成型塑料管殼等對(duì)MEMS芯片進(jìn)行氣密性封裝。傳統(tǒng)的封裝結(jié)構(gòu)為在封裝管殼底板上涂抹粘片膠,裝入MEMS芯片,將MEMS芯片背面層通過(guò)粘片膠固定在封裝管殼底板上,這樣,MEM...
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