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技術(shù)編號：12415700

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本發(fā)明涉及刀具涂層制備領域，尤其涉及利用高功率脈沖磁控濺射技術(shù)制備刀具復合涂層的方法。背景技術(shù)作為數(shù)控、磨具加工技術(shù)關(guān)鍵的刀具，其性能對切削加工的效率、精度與表面質(zhì)量有著決定性的影響。涂層刀具是利用氣相沉積方法在高強度的硬質(zhì)合金或高速鋼刀具基體表面涂覆幾個微米的高硬度、高耐磨性的難熔金屬或非金屬化合物涂層。涂層刀具具有表面硬度高、耐磨性好、化學性能穩(wěn)定、耐熱耐氧化和摩擦系數(shù)小等特性。MeSiN納米復合涂層通過在傳統(tǒng)的TiN或者CrN等單相涂層中加入一定含量的Si元素，發(fā)生熱力學上的調(diào)幅分解，生成...
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