技術(shù)編號：12430081
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于真空獲得技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種立式復(fù)合徑流分子泵。背景技術(shù)專利ZL201620118209.2提供了一種立式復(fù)合徑流分子泵（簡稱徑流泵），該徑流泵具有結(jié)構(gòu)簡單、能耗低和兼有中、高真空泵雙重性能力等優(yōu)點(diǎn)，然而，也存在如下缺點(diǎn)：1．該徑流泵的進(jìn)氣口均設(shè)在泵筒的側(cè)面，導(dǎo)致進(jìn)氣口面積無增加的空間，限制了徑流泵抽速的提高；2．該徑流泵的靜輪的中部設(shè)有隔板，影響氣體的抽速；3．該徑流泵的抽氣槽長度較短，限制了徑流泵壓縮能力的提高。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種能提高抽速和...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。