技術(shù)編號(hào)：12443377
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及精密定位系統(tǒng)的技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指一種微納定位系統(tǒng)及其對(duì)柔順機(jī)構(gòu)平臺(tái)的全閉環(huán)在線控制方法。背景技術(shù)隨著科技的不斷發(fā)展，精密定位技術(shù)作為關(guān)鍵技術(shù)之一，在尖端工業(yè)和科學(xué)研究中越來(lái)越重要。與之相對(duì)應(yīng)的精密定位系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用在微型織造機(jī)械制造，半導(dǎo)體技術(shù)，超精密加工，生物工程，生命與醫(yī)療技術(shù)等領(lǐng)域中。作為精密定位系統(tǒng)中一個(gè)重要組成部分，微納定位系統(tǒng)能夠提供具有納米級(jí)別分辨率的微米級(jí)步進(jìn)位移。壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器具有分辨率高，響應(yīng)快，體積小，推力大，無(wú)發(fā)熱等優(yōu)點(diǎn)。柔順機(jī)構(gòu)具有無(wú)滑動(dòng)摩擦，不需潤(rùn)滑及分辨率...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。