技術(shù)編號：12443563
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于光學檢測領(lǐng)域，尤其涉及一種帶有Offner補償器的非球面檢測光路中光學間隔非接觸精密測量的系統(tǒng)和方法。背景技術(shù)在非球面鏡加工檢測過程中，經(jīng)常會借助補償器實現(xiàn)干涉檢測。補償器按類型可分為折射式光學補償器、反射式光學補償器和衍射式光學補償器。Offner補償器屬于折射式補償器中最常用的一種，一般由兩片透鏡組成，可將干涉儀發(fā)出的平面波或球面波轉(zhuǎn)換成非球面波經(jīng)被檢非球面反射后再次經(jīng)補償器回到干涉儀，與參考光束形成干涉條紋。采用激光干涉儀配備合適F數(shù)的球面標準鏡頭即可實現(xiàn)非球面面形的干涉檢測。在...
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