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一種壓力傳感器及其制備方法與流程技術資料下載

技術編號:12446523

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本發(fā)明屬于壓力傳感器領域,具體涉及一種結構簡單的大量程和高精度的壓力傳感器的制備方法。背景技術壓力傳感器,是指將壓力轉換為可測電信號的器件。壓力傳感器的應用非常廣泛,從風力測量等科學探測應用到自動化系統(tǒng)等工業(yè)需求、從精密天平等微力的精密測量到普通電子天平等一般物體測重,在各個領域都有著不可或缺的作用。而對于不同的領域,所需測量的壓力的精度要求、量程范圍等往往是不同的,因此根據(jù)不同的壓力測量需求,所使用的壓力傳感系統(tǒng)(包括受力裝置、壓力傳感器、轉換元件等)都存在很大差異。對于如精密天平等微力的測量...
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