技術(shù)編號(hào)：12450974
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及晶圓承盤，特別是涉及一種自定位晶圓承盤。背景技術(shù)隨著今日晶圓制程技術(shù)的日新月異，晶圓的儲(chǔ)存與制程中繼，也必須更加的便利和有效率，并且朝向更精密的方向前進(jìn)。鑒于過去晶圓的儲(chǔ)存方式和承盤結(jié)構(gòu)，是由單純的方框或簡(jiǎn)單的圓槽所構(gòu)成，對(duì)于晶圓儲(chǔ)存時(shí)的方向，沒有規(guī)律性和定位性。是故，在存放和取用晶圓時(shí)，常為了方向性的關(guān)系，耗費(fèi)時(shí)間和工作程序，造成人力和成本的提升，增加了成本，減少了很多效率。習(xí)知的晶圓承盤，如中國(guó)臺(tái)灣專利第M502244號(hào)新型專利案，包含：一承盤本體，該承盤本體的一面具有復(fù)數(shù)承載...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。