技術(shù)編號：12458173
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于電子信息功能材料與器件技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種a軸取向增強型AlN薄膜及其制備方法，可用于制作現(xiàn)代通信技術(shù)中的諧振器、換能器、壓電傳感器等通信元器件。背景技術(shù)近年來通訊行業(yè)的發(fā)展迅速，通訊系統(tǒng)和通訊設(shè)備的頻率日益提高，集成度越來越高、尺寸日益減小，這對應(yīng)用于通訊設(shè)備的濾波器提出了更高的要求。而傳統(tǒng)的介質(zhì)濾波器體積過大，低溫共燒陶瓷濾波器濾波性能相對較差，這些都難以滿足通訊設(shè)備小型化、集成化和高可靠性的要求。聲表面波技術(shù)在十九世紀(jì)六十年代末期作為一種新興的電子學(xué)、聲學(xué)和材料學(xué)相結(jié)合的新型學(xué)...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。