技術(shù)編號：12459157
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光刻技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種直寫光刻設(shè)備中的雙光源雙照明方式的圖像采集裝置。背景技術(shù)在直寫光刻設(shè)備中，通過圖像采集裝置抓取Mark點(diǎn)來進(jìn)行內(nèi)層、外層對準(zhǔn)，因此，圖像采集裝置的性能直接影響直寫光刻設(shè)備的定位效果。光學(xué)鏡頭是圖像采集裝置的核心組成部分。傳統(tǒng)光學(xué)鏡頭具有視場角，因此隨著光學(xué)鏡頭與物體之間的距離改變，放大倍率也會變化。這一視場角會導(dǎo)致像差（也稱為角度誤差），從而降低了準(zhǔn)確性，因?yàn)槿绻矬w由于放大倍數(shù)變化而移動（即使其余部分在景深內(nèi)），則觀察到的視覺系統(tǒng)測量值會改變。遠(yuǎn)心鏡頭可通過恒...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。