技術(shù)編號：12464713
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光學(xué)檢測技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種凸非球面鏡面形檢測系統(tǒng)及檢測方法。背景技術(shù)點衍射干涉儀主要用于超高精度的光學(xué)波前檢測，在光學(xué)波前測試計量、高精度光學(xué)成像系統(tǒng)研制等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。點衍射干涉儀極高的光學(xué)波前測試精度，是光學(xué)加工與精度評估的重要手段，在國際上只有技術(shù)先進(jìn)的公司與科研單位擁有。如圖1所示，點衍射干涉儀凹球面鏡面形測試方法：由激光光源1發(fā)出的激光，經(jīng)針孔照明聚光鏡2匯聚后，聚焦照射在針孔板3的針孔上。經(jīng)針孔衍射的出射光波被分為兩部分；一部分進(jìn)入干涉圖像成像鏡組4；另一部分照射...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。