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一種一體式軸向精密微調(diào)裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12467767

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本發(fā)明涉及深紫外投影光刻物鏡技術(shù)領(lǐng)域,具體公開(kāi)一種一體式軸向精密微調(diào)裝置。背景技術(shù)投影光刻物鏡是制造大規(guī)模集成電路的關(guān)鍵設(shè)備。隨著集成電路運(yùn)算能力的不斷提升,集成電路特征線寬不斷細(xì)分,投影光刻物鏡的分辨率需要不斷提高。為提升投影光刻物鏡的分辨率,在裝調(diào)階段,部分鏡框及鏡片位置需不斷補(bǔ)償以獲得最優(yōu)系統(tǒng)像差,僅依靠加工及裝配公差難以滿足精度要求,需要研制專用工裝進(jìn)行光學(xué)元件軸向位置精細(xì)調(diào)整,在曝光階段,為適應(yīng)熱源引入像差變化,物鏡中部分敏感光學(xué)元件軸向位置需要精密微動(dòng)調(diào)節(jié)。專利CN101900862...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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