技術(shù)編號：12478029
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域。更具體地，涉及一種薄膜晶體管的制造方法、陣列基板的制造方法和顯示裝置的制造方法。背景技術(shù)薄膜晶體管(ThinFilmTransistor，TFT)被廣泛應用于顯示技術(shù)領(lǐng)域。常規(guī)的薄膜晶體管制造方法需要至少兩次構(gòu)圖過程以形成至少兩個不同的掩模來進行摻雜，以在源極區(qū)域和漏極區(qū)域中形成輕摻雜區(qū)和重摻雜區(qū)。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的實施例提供了一種薄膜晶體管的制造方法、陣列基板的制造方法以及顯示裝置的制造方法?？梢越鉀Q現(xiàn)有技術(shù)中的摻雜方法工藝復雜、參數(shù)控制難度較大、不良率發(fā)生較高的問題。本...
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