技術(shù)編號(hào)：12478213
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種承載裝置及半導(dǎo)體加工設(shè)備。背景技術(shù)圖形化藍(lán)寶石襯底(PatternedSapphireSubstrate，簡(jiǎn)稱PSS)作為普遍采用的一種提高GaN基LED器件出光效率的方法，目前已廣泛的應(yīng)用在LED制備領(lǐng)域中。在PSS刻蝕工藝中，為了提高產(chǎn)能，通常利用托盤同時(shí)搬運(yùn)和刻蝕多個(gè)藍(lán)寶石基片。圖1為現(xiàn)有的承載裝置的剖視圖。請(qǐng)參閱圖1，承載裝置包括托盤1和蓋板2，二者通過(guò)多個(gè)螺釘5將多個(gè)晶片3夾持固定。其中，托盤1上用于放置各個(gè)晶片3的表面稱為承載面；在蓋板2...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。