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真空室和質(zhì)量分析電磁鐵的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12485441

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本發(fā)明涉及用于帶狀束的輸送的真空室和具備該真空室的質(zhì)量分析電磁鐵。背景技術(shù)在離子注入裝置和電子線照射裝置等各種工業(yè)設(shè)備中利用離子束和電子束。在各裝置中使用的束形狀是各種各樣的,根據(jù)裝置結(jié)構(gòu)和成為處理對(duì)象的基板的種類,使用點(diǎn)狀束、帶狀束、面狀束等各種束。使用這樣的具有電荷的束的裝置,被稱為帶電粒子束裝置。如果舉出作為所述的帶電粒子束裝置的一種的、離子注入裝置的具體例子,則有如專利文獻(xiàn)1所述的使用了帶狀束的離子注入裝置。帶狀束是用與在裝置內(nèi)部輸送的帶電粒子束的行進(jìn)方向垂直的平面把帶電粒子束切斷時(shí)的斷...
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