技術(shù)編號：12511620
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。用于聲波氣體濃度感測以及流量控制的增強型罩殼相關申請案的交叉參考本申請案主張美國臨時專利申請案第62/035,988號(2014年8月11日申請)及第62/100,285號(2015年1月6日申請)的權(quán)益，所述臨時專利申請案的內(nèi)容以全文引用的方式并入。技術(shù)領域本發(fā)明大致上涉及聲波傳感器，且更特定地說，涉及用于感測處理媒介中的組分濃度等級的聲波傳感器。背景技術(shù)聲波傳感器可用于化學汽相沉積(CVD)系統(tǒng)，以確定所選組分的濃度。這些設備的基本操作原則為由一聲波信號穿過測試媒介的飛行時間與純載波穿過測試...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。