技術編號:12513771
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及通過離子照射進行的包覆件的除膜方法及除膜裝置。背景技術能夠?qū)孟窬劬Ы饎偸?Poly-CrystallineDiamond,以下,有時簡記作“PCD”)這樣的無機物包覆的刀具、機械零件等進行除膜、再利用的技術的確立是緊急的技術問題。對此,以由工具鋼、硬質(zhì)合金形成的鉆頭、立銑刀為例進行說明。這些刀具類物品使用工具鋼、硬質(zhì)合金,由TiN、TiAlN、DLC、PCD進行了包覆。隨著刀具的使用,這些包覆層磨損、剝離,刀具的壽命到了。以往,這些用過的刀具被廢棄,人們期望通過進行除膜、之后再成膜...
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