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通過離子照射進行的包覆件的除膜方法及除膜裝置與流程技術資料下載

技術編號:12513771

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本發(fā)明涉及通過離子照射進行的包覆件的除膜方法及除膜裝置。背景技術能夠?qū)孟窬劬Ы饎偸?Poly-CrystallineDiamond,以下,有時簡記作“PCD”)這樣的無機物包覆的刀具、機械零件等進行除膜、再利用的技術的確立是緊急的技術問題。對此,以由工具鋼、硬質(zhì)合金形成的鉆頭、立銑刀為例進行說明。這些刀具類物品使用工具鋼、硬質(zhì)合金,由TiN、TiAlN、DLC、PCD進行了包覆。隨著刀具的使用,這些包覆層磨損、剝離,刀具的壽命到了。以往,這些用過的刀具被廢棄,人們期望通過進行除膜、之后再成膜...
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