技術(shù)編號：12514482
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及紫外光源設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種集成冷卻裝置的高亮度紫外光源。背景技術(shù)紫外光源在科研方面的光電子能譜、質(zhì)譜研究；微電子與光電子技術(shù)的紫外光刻；化學(xué)工業(yè)中的光合成、光固化、光氧化；食品醫(yī)療方面的殺菌、消毒、治療皮膚病以及公安偵查的鑒別等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。現(xiàn)有的紫外光源(裝置)按紫外光產(chǎn)生的機(jī)理，一般分為高壓電極放電、微波波導(dǎo)諧振腔耦合、電感線圈耦合等幾種類型，但目前上述裝置都有著各自的缺陷：1、利用高壓電極放電產(chǎn)生等離子發(fā)光，該類裝置的電極因受等離子腐蝕，其壽命一般在1000小時以內(nèi)...
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