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一種基于VO2薄膜的柔性呼吸傳感器及其制備方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12531320

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本發(fā)明涉及功能材料合成領(lǐng)域,具體涉及一種基于氧化釩(VO2)薄膜的柔性呼吸傳感器及其制備方法。背景技術(shù)氧化釩功能材料是一種能在室溫附近相變的功能材料,相變前后電阻變化最高可達(dá)五個(gè)數(shù)量級。迄今為止,VO2材料已經(jīng)在紅外、熱電等實(shí)際器件中得到應(yīng)用。呼吸是人類進(jìn)行正常生活的必須的一種行為,并且,呼吸的頻率一定程度上反映了許多的生理信息;呼吸頻率,作為生理參數(shù)的一種,是急性呼吸功能障礙的敏感指標(biāo)。對呼吸頻率的監(jiān)測,主要有對呼吸伸縮導(dǎo)致的應(yīng)變進(jìn)行測量,對呼吸氣體進(jìn)出氣的壓力變化進(jìn)行測量,對呼吸進(jìn)出氣的溫度...
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