技術(shù)編號(hào)：12533525
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及曝光機(jī)領(lǐng)域，尤其涉及一種曝光機(jī)的開合機(jī)構(gòu)。背景技術(shù)曝光機(jī)主要用于半導(dǎo)體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學(xué)，微機(jī)電系統(tǒng)，凹凸或覆晶設(shè)備和其他要求精細(xì)印制和精度對(duì)準(zhǔn)的技術(shù)要求，傳統(tǒng)的曝光機(jī)的曝光箱蓋與曝光箱不能做到緊密貼合，導(dǎo)致曝光精度不夠，其結(jié)構(gòu)通常是由上蓋和面板直接貼合，合蓋時(shí)，通過手工開合，上蓋與面板沒有固定裝置固定，一般僅通過氣彈簧，但其固定效果差，若不注意會(huì)將上蓋打開，影響生產(chǎn)。實(shí)用新型內(nèi)容為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提出了一種曝光機(jī)的開合機(jī)構(gòu)，包括機(jī)身，所述機(jī)身上設(shè)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。