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技術(shù)編號(hào)：12537132

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制程廢氣的凈化技術(shù)，特別是有關(guān)于一種半導(dǎo)體制程廢氣中的氟化物的凈化方法及其裝置。背景技術(shù)為了減緩溫室效應(yīng)對(duì)地球暖化所造成的嚴(yán)重影響，世界半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)(WSC)早已決定將產(chǎn)業(yè)中較特殊的SF6、CF4、C2F6、C3F8、CHF3、NF3及F2等氟化物(PerFluorinatedCompounds，PFC)氣體列為造成溫室效應(yīng)的有害氣體的減量對(duì)象。由于半導(dǎo)體制程所排放的廢氣中，包含NF3及F2等有害的氟化物(PFC)，為了避免該等有害的氟化物氣體排放至空氣中造成環(huán)境污染，已知現(xiàn)有...
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