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技術(shù)編號：12552118

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本發(fā)明涉及微納光學領(lǐng)域，特別是一種縮小基于飛秒激光直寫透明材料光波導出射模場直徑的裝置和方法，對集成光學中，將尺寸較小的硅基波導模場轉(zhuǎn)換為標準單模光纖的模場有著重要的意義。背景技術(shù)飛秒激光直寫光波導技術(shù)是一種簡單的光波導制備工藝，由于飛秒脈沖作用時間短、熱效應(yīng)小，可以獲得其它加工手段無法比擬的加工精度。其具體原理為：對飛秒激光進行合適的空間整型，使形成的焦斑在截面上為圓形(參見文獻Y.Cheng,K.Sugioka,K.Midorikawa,M.Masuda,K.Toyoda,M.Kawachi...
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