技術(shù)編號(hào)：12556289
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，更具體地，涉及一種用于傳輸Wafer(硅片)的具有防撞功能的傳片機(jī)械手及其防撞方法。背景技術(shù)本發(fā)明所述的傳片機(jī)械手是指半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備所用的機(jī)械手。在申請(qǐng)?zhí)枮?01110094429.8的中國(guó)發(fā)明專利中公開了一種機(jī)械手，利用比較器將光纖測(cè)距傳感器輸出的模擬電壓與設(shè)定的基準(zhǔn)電壓進(jìn)行比較，判斷機(jī)械手是否低于障礙物的安全高度，如果是則通過(guò)繼電器切斷運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)電源，同時(shí)接通制動(dòng)系統(tǒng)電源，使機(jī)械手的運(yùn)動(dòng)迅速停止。由于其機(jī)械手是安裝在Z軸方向上的，因此僅可對(duì)Z軸方向上的防撞有效。但...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。