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光伏制程顯微鏡的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12563083

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本實(shí)用新型涉及一種光伏制程顯微鏡,尤其是一種具有新型臺(tái)面的光伏制程顯微鏡。背景技術(shù)光伏制程顯微鏡用于光伏電池制絨、刻蝕、絲網(wǎng)、光刻、分檢工序,現(xiàn)有的光伏制程顯微鏡的臺(tái)面主要構(gòu)件如圖1所示:包括包漆臺(tái)面1a,包漆臺(tái)面1a的下邊沿通過(guò)固定螺釘2a與連接條3a連接,連接條3a上設(shè)置連接螺栓4a,連接螺栓4a用于將包漆臺(tái)面1a與顯微鏡載物臺(tái)一側(cè)的移動(dòng)條5a固定?,F(xiàn)有的顯微鏡的臺(tái)面主要存在以下缺陷:(1)由于包漆臺(tái)面1a長(zhǎng)期使用,漆面磨損金屬面露出,暴露的金屬面與制程中的硅片摩擦,使硅片表面沾污金屬引入制...
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