技術(shù)編號(hào)：12578852
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。溫度測量方法和熱處理裝置本發(fā)明基于在2015年6月30日申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)第2015-130756號(hào)以及在2016年4月20日申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)第2016-084733號(hào)的優(yōu)先權(quán)，該日本申請(qǐng)的全部內(nèi)容作為參照文獻(xiàn)被引入本發(fā)明。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種溫度測量方法和熱處理裝置。背景技術(shù)以往，已知在設(shè)置在處理容器內(nèi)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)方向上載置多個(gè)作為基板的半導(dǎo)體晶圓(以下稱作“晶圓”)的熱處理裝置。該熱處理裝置具備：氣體供給部，其沿旋轉(zhuǎn)臺(tái)的徑向設(shè)置，對(duì)處理氣體進(jìn)行供給；以及加熱器，其設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)的下部，對(duì)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。