技術(shù)編號：12589446
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及傳感器技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種液位傳感器、液體加工設(shè)備及液體檢測方法。背景技術(shù)薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)是目前最為流行的顯示器件，其在制作過程中的刻蝕工藝，涂膠顯影工藝，清洗工藝等都需要藥液或者水等液體。在實(shí)際量產(chǎn)過程中，通過設(shè)備中液位的感應(yīng)來對液體進(jìn)行置換或者排放。而液位感應(yīng)的不準(zhǔn)確或者液位傳感器由于設(shè)計(jì)的缺陷造成頻繁異常會極大的影響設(shè)備的稼動以及產(chǎn)品的品質(zhì)。目前現(xiàn)有量產(chǎn)設(shè)備的液位傳感器主要有兩個類型。第一個為幾組不同高度的傳感器，分布在Tank(加工腔室)的不同區(qū)域，通過高...
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