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用于激光寫入系統(tǒng)的磁電阻傳感器晶元版圖的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12591027

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本實(shí)用新型涉及磁性傳感器領(lǐng)域,特別涉及一種用于激光寫入系統(tǒng)的磁電阻傳感器晶元版圖。背景技術(shù)推挽式磁電阻傳感器由于具有高的磁場(chǎng)信號(hào)和溫度補(bǔ)償性能,在設(shè)計(jì)中得到廣泛的應(yīng)用,通常采用翻轉(zhuǎn)切片的方法來獲得推磁電阻傳感單元切片和挽磁電阻傳感單元切片,對(duì)于單軸磁電阻傳感器如X軸磁電阻傳感器,需要至少兩個(gè)切片,且分別翻轉(zhuǎn)0和180度相位,而對(duì)于兩軸磁電阻傳感器如雙軸X-Y磁電阻傳感器,則至少需要四個(gè)切片,且需要進(jìn)行0,90,180,270的四次翻轉(zhuǎn)相位,其缺點(diǎn)在于切片較多,且相互之間通過機(jī)械操作進(jìn)行角度翻轉(zhuǎn)和...
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