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一種硅基調(diào)制器的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12593617

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本發(fā)明涉及硅光子集成領(lǐng)域,尤其涉及一種硅基調(diào)制器。背景技術(shù)微電子技術(shù)發(fā)展起來后,一直按著摩爾定律預(yù)測的那樣,“半導(dǎo)體芯片的集成度每18個月增長一倍,而價格則降低一半?!钡?,現(xiàn)在以硅為基礎(chǔ)的微電子技術(shù)已經(jīng)越來越接近物理極限,很難繼續(xù)遵循摩爾定律來發(fā)展。同時,在光通信領(lǐng)域,一直受到光器件高功耗,高成本,大體積等的困擾。硅光子技術(shù)的應(yīng)運(yùn)而生,可以同時解決微電子領(lǐng)域和光通信領(lǐng)域的諸多難題。硅光子技術(shù)就是以半導(dǎo)體的成熟工藝即生產(chǎn)電子器件,又生產(chǎn)光子器件。但是,要實(shí)現(xiàn)硅光子技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化還存在很多要可否的困...
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