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一種納米復(fù)合多層相變薄膜及其制備方法和應(yīng)用與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12599166

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本發(fā)明屬于微電子材料技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種納米復(fù)合多層相變薄膜及其制備方法和應(yīng)用。背景技術(shù)相變存儲(chǔ)器(Phasechangememory,PCM)是一種新型的非易失性半導(dǎo)體存儲(chǔ)器,其原理是利用相變材料在電脈沖加熱作用下能夠在高阻非晶態(tài)和低阻多晶態(tài)之間高速可逆轉(zhuǎn)變,從而實(shí)現(xiàn)二進(jìn)制信息存儲(chǔ)。PCM寫(xiě)操作(RESET)是指給相變材料施加一個(gè)短而強(qiáng)的電脈沖,使相變材料溫度升高到熔化溫度(Tm)以上,并經(jīng)過(guò)快速淬火導(dǎo)致材料晶態(tài)的長(zhǎng)程有序遭到破壞,實(shí)現(xiàn)材料從晶態(tài)到非晶態(tài)的轉(zhuǎn)變。PCM擦操作(SET)是指給...
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