技術編號：12609866
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于數據存儲材料、功能材料和智能材料領域，具體涉及一種鋯鈦酸鉛/鈦酸鋇鐵電超晶格材料及其制備方法。背景技術近二十多來，隨著薄膜制備技術的發(fā)展和電子產品及其元器件小型化和多功能化需求的不斷提高，鐵電薄膜的制備技術也得到了快速的發(fā)展。鐵電薄膜與半導體技術相結合，使得其在鐵電存儲器件、晶體場效應管、聲表面波器件等鐵電集成微電子領域有廣泛的應用前景。然而，隨著鐵電薄膜的厚度減小，薄膜的電學性能會逐漸減弱。通常而言，鐵電薄膜會存在高的漏電流、高的介電損耗和印記等問題。這些問題限制了鐵電薄膜在微電子器...
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