技術(shù)編號(hào)：12611833
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于一種自動(dòng)追焦系統(tǒng)，尤指一種用于氣浮載臺(tái)的自動(dòng)追焦系統(tǒng)。背景技術(shù)精密檢測通常適用于須具備高精密度、低容錯(cuò)率的產(chǎn)品，通常配合一自動(dòng)化控制產(chǎn)線設(shè)置，并配設(shè)于供應(yīng)鏈末端的位置，以對制造的成品進(jìn)行表面污損、磨損、漏銅等瑕疵的檢測。其通常包含有一光學(xué)儀器(例如:線掃描攝影機(jī)、面掃描攝影機(jī)等)用以對工件的表面取像，再以計(jì)算機(jī)圖像處理技術(shù)來檢出異物或圖案異常等瑕疵。在對精密工件(例如面板)進(jìn)行檢測時(shí)，為避免工件于輸送程序中因輸送帶刮傷或污損產(chǎn)生瑕疵，針對部分精密工件會(huì)設(shè)置氣浮載臺(tái)，通過對工件提供正壓...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。