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一種氧化釔陶瓷等離子溶射設(shè)備及溶射方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12612948

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本發(fā)明公開(kāi)一種溶射設(shè)備及溶射方法,特別是一種氧化釔陶瓷等離子溶射設(shè)備及溶射方法。背景技術(shù)隨著液晶面板和集成電路制造設(shè)備的大型化,設(shè)備的功率也隨之提高,以確保高世代生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率和品質(zhì)要求,而制造設(shè)備在功率增加的同時(shí),對(duì)設(shè)備組件表面特性的要求也隨之有了大幅的提高,因此,需要對(duì)設(shè)備組件的表面進(jìn)行特殊處理,以增加其使用壽命。常規(guī)的做法通常是應(yīng)用在干刻(DryEtch)和化學(xué)氣相沉積(CVD)設(shè)備中,對(duì)于小世代液晶面板生產(chǎn)線和小尺寸晶圓生產(chǎn)設(shè)備使用氧化鋁陶瓷(即在組件表面附著一側(cè)氧化鋁陶瓷)即可滿足抗...
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