技術(shù)編號(hào)：12646384
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及鍍膜機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種帶角度可調(diào)行星盤(pán)的鍍膜機(jī)膜片轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。背景技術(shù)真空鍍膜機(jī)主要由以下幾部分組成：真空腔體，抽氣系統(tǒng)，充氣布?xì)庀到y(tǒng)，加熱系統(tǒng)，薄膜沉積控制系統(tǒng)，高壓控制系統(tǒng)，低壓控制系統(tǒng)，蒸發(fā)源系統(tǒng)，工件旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)。其功能描述如下：真空腔體：鍍膜加工的一個(gè)空間抽氣系統(tǒng)：使鍍膜達(dá)到所需的真空度充氣布?xì)庀到y(tǒng)：使氣動(dòng)元件獲得足夠的氣壓完成動(dòng)作加熱系統(tǒng)：使基片達(dá)到鍍膜所需的溫度薄膜沉積控制系統(tǒng)：使基片上鍍的膜厚達(dá)到所需的要求高壓控制系統(tǒng):使蒸發(fā)源獲得足夠的電壓低壓控制系統(tǒng)：控制鍍膜機(jī)的元...
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