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技術(shù)編號：12646405

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本發(fā)明涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種PECVD雙面沉積設(shè)備。背景技術(shù)在光伏太陽能行業(yè)，高效率PERC太陽能電池的制造要經(jīng)過制絨，擴散，刻蝕，鍍膜，絲網(wǎng)印刷，燒結(jié)和退火七大工序。其中，鍍膜工序的目的是采用等離子增強化學氣相沉積的方法在硅片背面鍍氧化鋁膜和氮化硅膜，以及在硅片正面鍍氮化硅膜。目前，光伏行業(yè)大多采用管式PECVD或板式PECVD對硅片單面鍍氮化硅膜，操作員工將花籃中的硅片插入專門的石墨舟或石墨框里，或者通過自動上下料機將硅片插入石墨舟或石墨框，然后將石墨舟或石墨框放入爐管中鍍膜。...
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